脱气装置多用于超纯水系统中，其主要作用是脱除水中的二氧化碳。二氧化碳溶入水中形成碳酸根离子，会造成EDI的产水电导率下降。同时，二氧化碳溶入水中会与水中的硅和硼形成化合物，还还会降低EDI对硅、硼的去除率。

水系统中脱气的工艺主要有两大类。第一种是采用调整pH值结合反渗透膜脱除二氧化碳；第二种是使用膜脱气装置去除二氧化碳，它的优点是不需要添加其他化学试剂。

从理论上来讲，在pH值为4.4~8.2的条件下，二氧化碳与碳酸氢根离子能够保持动态平衡，当pH值大于8.2时二氧化碳含转换为碳酸氢根通过反渗透膜或EDI可去除。反渗透膜对于二氧化碳没有去除能力，但是对于碳酸氢根离子的去除率非常高。在反渗透前添加氢氧化钠调整pH值使得二氧化碳转化为碳酸氢根，再通过反渗透膜将其去除，最终达到去除二氧化碳的目的。

膜脱气装置包括中空的纤维膜。膜的一侧是液相侧，另一侧是气相侧，被去除的气体可通过真空抽吸、气体吹扫或二者结合的方式提取。该纤维膜为疏水性，水不能透过膜孔，被去除的气体降低了气相的分压，使气体从液相扩散到膜变成气相。

脱气装置应该是卫生级设计，由于中控纤维是薄纤维，所以应在膜脱气装置之前安装一个保安过滤装置。如果在RO/EDI系统中采用中空纤维膜脱气装置，其最有效的安装位置是在反渗透装置之后。